一种刻蚀机的真空系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种刻蚀机的真空系统,包括固定底座,所述固定底座内部顶端两侧均设有丝杆,所述丝杆外侧两端均设有活动夹板,所述活动夹板内侧设有固定销,所述固定底座顶端设有装置本体,所述装置本体底端设有安装板,所述安装板内壁两侧均设有稳固槽,所述稳固槽一侧设有活动杆。本实用新型通过丝杆和固定销的设置,伺服电机工作可以带动丝杆进行转动,进而可以调节两个活动夹板之间的距离,进而使得固定销可以与安装板进行连接,进而使得装置本体与固定底座进行连接,进而使得装置本体的安装和拆卸更加的便捷,进而可以方便工作人员对真空系统进行检修和更换,进而使得真空系统可以更好地用于刻蚀机的工作。

基本信息
专利标题 :
一种刻蚀机的真空系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022512339.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-03
授权号 :
CN213366522U
授权日 :
2021-06-04
发明人 :
吴峰唐建成
申请人 :
无锡芯汉电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市湖滨路655号325室
代理机构 :
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
聂启新
优先权 :
CN202022512339.3
主分类号 :
H01J37/32
IPC分类号 :
H01J37/32  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-06-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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