一种半导体用加工切割装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体用加工切割装置,属于半导体加工技术领域,包括支撑架一、支撑架二和壳体,所述支撑架一的右侧面开设有凹槽一,所述凹槽一的内底面开设有滑槽一,所述滑槽一内滑动安装有若干滑块一,所述滑块一上固定安装有滑轨一,所述滑轨一的上表面与凹槽一的内顶面相贴合,所述凹槽一内转动安装有螺纹杆;通过设置滑槽一,利用滑块一上设置的滑轨一,使得在转动螺纹杆时能够带动滑轨一进行移动,利用滑轨一与滑块二之间的连接,进而能够保证滑轨一的稳定,利用滑轨一内滑动的移动块,同时利用电机一上设置的直齿轮一,从而使得电机一的转动能够带动移动块移动,保证激光切割器对晶圆的稳定切割,确保切割精度。
基本信息
专利标题 :
一种半导体用加工切割装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202023304584.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-12-31
授权号 :
CN216298296U
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
赵浩张静陈博黎载红
申请人 :
上海波汇科技有限公司
申请人地址 :
上海市松江区中辰路299号1幢103室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202023304584.1
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38 B23K26/08 B23K26/70
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2022-04-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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