一种半导体切割装置
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摘要

本实用新型公开了一种半导体切割装置,涉及半导体技术领域,包括工作板,所述工作板底面四角分别固定设置有支腿,所述工作板顶部滑动设置有竖杆,所述竖杆可固定,所述竖杆顶部一侧固定设置有横杆一,所述横杆一下方安装有激光切割器,所述激光切割器两侧分别固定设置有吸尘机构,所述吸尘机构包括横杆二,所述横杆二底面左右滑动设置有伸缩杆,所述伸缩杆底部固定设置有吸尘器,所述吸尘器底部通过软管连接有硬管,所述吸尘器底面外侧固定设置有支板,本实用新型解决了切割加工操作时,需要不断地对晶圆进行清洗,避免切割时产生的粉尘对晶片的纯度造成影响,然而切割时的清洗,也会对切割造成一定影响,可能会使切割精度降低的问题。

基本信息
专利标题 :
一种半导体切割装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021021662.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-06
授权号 :
CN212858216U
授权日 :
2021-04-02
发明人 :
龙天明
申请人 :
佛山市方川电器有限公司
申请人地址 :
广东省佛山市顺德区勒流富安工业区连安路1号63号厂房
代理机构 :
上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄小栋
优先权 :
CN202021021662.4
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38  B23K26/70  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2021-04-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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