一种半导体切割装置
授权
摘要

本实用新型提供一种半导体切割装置,包括基座;载物台,固定于所述基座上,用于承载待切割半导体;第一支撑架,与所述基座转动连接,且能够绕所述载物台的中轴线转动;第二支撑架,设置于所述第一支撑架上,且能够在所述第一支撑架上沿垂直于所述载物台的中轴线的方向滑动;导轨,固定于所述第二支撑架上;刀具夹具,用于夹持刀具,所述刀具夹具可滑动地设置于所述导轨上。这样,本实用新型实施例可以通过第一支撑架和第二支撑架相配合,能够调节夹持于刀具夹具上的刀具与承载于载物台上的待切割半导体之间的角度,并进一步通过在导轨上滑动刀具实现对于半导体的切割,切割位置较为准确,不易发生偏差,有助于提高对于半导体切割准确程度。

基本信息
专利标题 :
一种半导体切割装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922103837.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-29
授权号 :
CN211250918U
授权日 :
2020-08-14
发明人 :
惠聪阴俊沛蒲以松
申请人 :
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
许静
优先权 :
CN201922103837.X
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04  B28D7/04  B28D7/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2020-08-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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