即使在除害装置停止的情况下，也使处理气体无害化。具有：反应管，其收纳基板；处理气体供给部，其向反应管内供给处理气体；排气部，其将反应管内的处理气体排出；废气处理室，其与排气部连接，对排出的处理气体进行处理；第一非活性气体供给部，其与向反应管内供给第一非活性气体的非活性气体供给源连接，向废气处理室供给第一非活性气体；第二非活性气体供给部，其向废气处理室供给第二非活性气体；排气管，其将废气处理室内的气体排出；以及控制部，其构成为能够控制第一非活性气体供给部和第二非活性气体供给部。使得在废气处理室中对处理气体进行处理的期间，从第一非活性气体供给部向废气处理室供给第一非活性气体，在废气处理室的处理停止时从第二非活性气体供给部向废气处理室供给第二非活性气体。