输送机检查系统、基板旋转器和具有前述项的测试系统
实质审查的生效
摘要
本文中公开的实施方式包括一种基板旋转器、一种基板边缘计量系统和一种在基板上执行计量的方法。所述基板旋转器包括主体、与所述主体耦接并且被配置成使所述主体旋转的主体致动器和与所述主体耦接的第一夹持器和第二夹持器。所述基板旋转器被配置成使一个或多个基板旋转。所述基板边缘计量系统包括两个计量系统和所述基板旋转器。所述基板边缘计量系统测量在基板的所有侧面上的侧面缺口或其他缺陷。所述方法包括在所述第一基板的第一组侧面上执行计量，使所述第一基板旋转第一角度，和在所述第一基板的第二组侧面上执行计量。所述方法允许测量在所述基板的所有侧面上的侧面缺口或其他缺陷。
基本信息
专利标题 ：
输送机检查系统、基板旋转器和具有前述项的测试系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114365272A
申请号 ：
CN202080061453.9
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2020-09-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
阿萨夫·施勒岑杰马库斯·J·施托佩尔
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202080061453.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20200901
申请日 : 20200901
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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