本发明提供了一种MEMS呼吸监测传感芯片及其制备方法，呼吸气流的流动改变芯片表面的温度分布，位于芯片表面的四个量热元件通过测量温度场的改变获得呼吸气流的流量、速度和方向；该芯片可置于特定的气流通道中，则平均温度差及相应位置决定气流的正向和反向；量热传感器由微加工的热堆构成，从而可以实现无源监测；位于芯片中心的热导元件监测气流的热导变化情况，从而获得对呼吸气流中的二氧化碳含量。该芯片具有体积小、无源、灵敏度高等优点，方便加工和使用，同时还可以与其他组件共同构成可随身佩戴的传感器组件，从而对呼吸情况进行近距离实时监测。