一种传感器芯片及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括：MEMS运动传感单元；信号处理单元；所述MEMS运动传感单元和所述信号处理单元集成在同一芯片上，以形成所述传感器芯片。所述传感器芯片降低外接信号处理电路的寄生效应对输出的影响，提高了器件集成度，大幅降低了系统集成成本。
基本信息
专利标题 ：
一种传感器芯片及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114440879A
申请号 ：
CN202210099536.8
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
聂泳忠杨文奇吴桂珊李舜华
申请人 ：
西人马联合测控（泉州）科技有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市洛江区双阳街道新南社区
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛异荣
优先权 ：
CN202210099536.8
主分类号 ：
G01C21/16
IPC分类号 ：
G01C21/16 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C21/00
导航；不包含在G01C1/001至G01C19/00组中的导航仪器
G01C21/10
通过速度或加速度的测量
G01C21/12
在被导航的物体上进行测量；根据测量推算航位
G01C21/16
采用积分加速度或速度的方法，即惯性导航
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 21/16
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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