半导体装置
公开
摘要
公开了一种半导体装置。所述半导体装置可以包括：基底；有源图案，位于基底的上部中并且在第一方向上延伸；栅电极，与有源图案交叉并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸；第一栅极间隔件，覆盖栅电极的侧表面；第一抑制层，位于栅电极与第一栅极间隔件之间；以及栅极绝缘层，位于栅电极与有源图案之间。栅极绝缘层可以包括高k介电层和栅极氧化物层。栅极氧化物层可以位于高k介电层与有源图案之间。高k介电层可以局部地设置在栅极氧化物层与栅电极之间。
基本信息
专利标题 ：
半导体装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388502A
申请号 ：
CN202110651929.0
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-06-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金文铉姜明吉金完敦
申请人 ：
三星电子株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹淑梅
优先权 ：
CN202110651929.0
主分类号 ：
H01L27/092
IPC分类号 ：
H01L27/092 H01L29/423
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04
其衬底为半导体的
H01L27/08
只包括有一种半导体组件的
H01L27/085
只包含场效应的组件
H01L27/088
有绝缘栅场效应晶体管的组件
H01L27/092
互补MIS场效应晶体管
法律状态
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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