本发明提供一种气相外延系统，包括载盘支撑装置、盖体、反应室、供气系统及排气室，载盘支撑装置穿过盖体，盖体与载盘支撑装置连接；反应室包括内腔室和外腔室，内腔室为反应腔，内腔室设置于外腔室中；供气系统位于反应室的一端部；内腔室包括第一分体和第二分体，第一分体靠近供气系统，第二分体远离供气系统；排气室与外腔室堆叠设置，排气室与外腔室密封隔离，内腔室与排气室连接；排气室远离供气系统的一端设有开口，内腔室可移动地设置于外腔室和排气室中。本发明通过引入具有分体结构的内腔室以及升降结构，可以在维护时只需更换内腔室的分体部分，无需整管更换，便于设备维护，可简化维护流程，提高设备稼动率和良率。