氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置
授权
摘要
本实用新型提供一种氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置，其中，所述氢化物气相外延用的浮舟包括：舟体、连接于所述舟体上的进气管；所述舟体内部具有气体输送通道，该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上，所述出气口为至少一个，所述进气管一端与所述进气口相连通；所述舟体能够浮在液体生长源中，其排开的生长源的重量＝舟体沉入液体生长源中的重量，所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值，所述出气口距离液体生长源的液面的距离，随液体生长源的液面的变化，保持固定。本实用新型的氢化物气相外延用的浮舟能够浮在液体生长源的表面，随着反应的进行，跟随液体生长源的液面下降，保证了氯化氢与液体生长源的充分反应。
基本信息
专利标题 ：
氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921670201.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-08
授权号 ：
CN211445991U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
蔡德敏徐琳沈振华张波徐科王建峰
申请人 ：
苏州纳维科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
代理机构 ：
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 ：
杨淑霞
优先权 ：
CN201921670201.7
主分类号 ：
C30B25/12
IPC分类号 ：
C30B25/12 C30B25/14 C30B29/40
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/12
衬底夹持器或基座
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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