氧化镓晶体的制造装置
公开
摘要
提供一种氧化镓晶体的制造装置，其是使用了电阻加热发热体的晶体制造装置，具备低成本且能够抑制热所致的变形及破损的发热体。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)具备由耐热材料(14a)构成的炉主体(14)、配置于上述炉主体(14)内的坩埚(22)、和配设在上述坩埚(22)的周围的发热体(34)，上述发热体(34)是发热部(34a)和直径大于该发热部(34a)的导电部(34b)连结而成的电阻加热发热体，上述发热部(34a)由具有1850[℃]的耐热性的材质构成，上述导电部(34b)由具有1800[℃]的耐热性的材质构成。
基本信息
专利标题 ：
氧化镓晶体的制造装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318493A
申请号 ：
CN202111169628.0
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
干川圭吾小林拓实大塚美雄太子敏则
申请人 ：
不二越机械工业株式会社
申请人地址 ：
日本长野县
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
褚瑶杨
优先权 ：
CN202111169628.0
主分类号 ：
C30B11/00
IPC分类号 ：
C30B11/00 C30B29/16
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B11/00
正常凝固法或温度梯度凝固法的单晶生长，例如晶体生长坩埚下降法Bridgman-Stockbarger法
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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