本发明公布了一种可控制形状的小线宽圆或椭圆形器件的制备方法，包括：提供衬底材料层，所述衬底材料层表面有一层待刻蚀目标层；对待刻蚀目标层进行第一次刻蚀处理，光刻形成第一辅助图形层，并沉积第一阻挡层；然后去除该第一阻挡层，并腐蚀掉第一辅助图形层，形成第一侧墙层；用该第一侧墙层作为硬掩模刻蚀，形成第一目标层，去除第一侧墙层；对上述第一目标层进行相同的第二次刻蚀处理后，形成第二侧墙层；用该第二侧墙层作为硬掩模刻蚀，形成第二目标层，去除第二侧墙层；刻蚀第二目标层多余棱角，形成小线宽圆或椭圆形器件；第二侧墙层与第一目标层相互垂直形成90°夹角。本发明制备的小尺寸器件均匀性好、完整性高，且形状可控。