一种FinFET高密度新型存储器及其制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种FinFET高密度新型存储器及其制备方法,所述存储器由衬底层上的多个存储单元组成,其中每一个存储单元包括:电流写入层和两个结构相同的磁性隧道结;所述磁性隧道结分别包括按顺序排列的自由层、势垒层、人工反铁磁耦合层、覆盖层,且所述两个磁性隧道结分别位于电流写入层的两侧形成对称结构;所述人工反铁磁耦合层包括固定层、反铁磁耦合层、钉扎层。通过本发明制备的存储器,利用两个对称的磁性隧道结自旋霍尔角相反实现差分存储,在一条电流写入层上可以形成多个结存储单元,提高了存储密度;存储单元为差分结构,减少源线、字线、位线的使用,提高集成度;本发明的制备方法只需要一次沉积刻蚀工艺,方法简单易行。

基本信息
专利标题 :
一种FinFET高密度新型存储器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114420835A
申请号 :
CN202111460073.5
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2021-12-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
卢世阳商显涛刘宏喜曹凯华王戈飞
申请人 :
致真存储(北京)科技有限公司
申请人地址 :
北京市海淀区知春路23号5层504A、504B室
代理机构 :
北京墨丘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
唐忠仙
优先权 :
CN202111460073.5
主分类号 :
H01L43/08
IPC分类号 :
H01L43/08  H01L43/06  H01L27/22  
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 43/08
申请日 : 20211202
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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