红外快速退火炉
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种红外快速退火炉，包括炉体，其内设有上、下两排红外灯管，相邻红外灯管之间均设有红外隔热挡片，阻隔红外光透过。本发明通过利用红外隔热挡片将各相邻红外灯管隔开，红外隔热片耐高温，且不利于红外光透过，以此减弱边缘灯管向中心位置辐射热量，将单根红外灯管隔离为单独辐射热源，较大减少红外波透过，可以有效缓解硅片加热过程中的边缘场效应，保持硅片具有良好的温度均匀性。
基本信息
专利标题 ：
红外快速退火炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318547A
申请号 ：
CN202111595920.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王愿兵徐成松蔡自彪王振玉李小平杨林熊磊刘红邵炜张胜林冲
申请人 ：
武汉嘉仪通科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层
代理机构 ：
湖北武汉永嘉专利代理有限公司
代理人 ：
许美红
优先权 ：
CN202111595920.9
主分类号 ：
C30B33/02
IPC分类号 ：
C30B33/02 C30B29/06 H01L21/324 H01L21/67
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B33/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
C30B33/02
热处理
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 33/02
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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