一种自供电异质结深紫外光电探测器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种自供电异质结深紫外光电探测器及其制备方法。所述的探测器从下而上依次为基板、ε相Ga2O3薄膜、ZnO薄膜光敏层、顶电极和侧电极，其中，顶电极形成在光敏层上，侧电极形成在所述光敏层之外的ε相Ga2O3薄膜上，当侧电极形成在所述光敏层之外的ε相Ga2O3薄上时，光敏层与ε相Ga2O3薄膜之间形成异质结。该光电探测器的ε相Ga2O3薄膜与光敏层形成的异质结对深紫外光具有很高的选择性，并且在无电压施加的情况下，器件仍然有稳定的深紫外光探测能力。
基本信息
专利标题 ：
一种自供电异质结深紫外光电探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114284375A
申请号 ：
CN202111599331.8
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔银花张少辉施庆珊谢小保
申请人 ：
广东省科学院微生物研究所（广东省微生物分析检测中心）
申请人地址 ：
广东省广州市先烈中路100号大院56号
代理机构 ：
广州科粤专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈洁娣
优先权 ：
CN202111599331.8
主分类号 ：
H01L31/0336
IPC分类号 ：
H01L31/0336 H01L31/109 H01L31/18 H01L31/0224
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0336
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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