一种微米线阵列异质结紫外光探测器及其制备方法
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摘要

本发明公开了一种微米线阵列异质结紫外光探测器及其制备方法,涉及光电探测器技术领域,该探测器包括主要由设定方向层叠设置的氮化镓微米线阵列和氧化镍层形成的异质p‑n结,氮化镓微米线阵列和氧化镍层上分别连接有第一电极层和第二电极层;其制备方法包括采用金属有机气相沉积工艺在图案化硅片衬底上生长氮化镓微米线阵列后,以金属材料在氮化镓微米线阵列上形成第一电极层,随后在氮化镓微米线阵列上覆设氧化镍层,最后在氧化镍层上设置第二电极层。本发明提供的微米线阵列异质结紫外光探测器具有紫外/可见光选择比高、暗电流低、响应速度快且结构简单等优点。

基本信息
专利标题 :
一种微米线阵列异质结紫外光探测器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111725338A
申请号 :
CN201910206813.9
公开(公告)日 :
2020-09-29
申请日 :
2019-03-19
授权号 :
CN111725338B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
李述体汪虎罗幸君刘青
申请人 :
华南师范大学
申请人地址 :
广东省广州市天河区中山大道西55号华南师范大学光电子材料与技术研究所
代理机构 :
北京高沃律师事务所
代理人 :
杜阳阳
优先权 :
CN201910206813.9
主分类号 :
H01L31/0352
IPC分类号 :
H01L31/0352  H01L31/109  H01L31/18  
法律状态
2022-04-01 :
授权
2020-10-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0352
申请日 : 20190319
2020-09-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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