本发明提供了一种MIM结构的新型efuse器件单元及其制备方法，该efuse器件单元由金属镍层、氧化镍和三氧化二镍混合层、氧化铪层、第一金属铝层、三氧化二铝层、第二金属铝层和金属层自下至上依次堆叠而成；efuse器件单元呈长条状，上下两个金属电极作为Pad。本发明的efuse器件单元制造成本较低，可以较容易的在大规模集成电路设计中得到应用；本发明的efuse器件单元Pad面积较小，可以有效减少漏电流的消耗，且减少在电路设计中的面积占用，方便电路设计；本发明的efuse器件单元产生的热量较小，不需要太多的散热设计，从而方便了电路设计和在线可编程硬件的集成制作。