晶圆掩膜版自动中心系统
授权
摘要
本实用新型提供一种晶圆掩膜版自动中心系统，包括底座、X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸、移动板，移动板固定在底座上并在底座上滑动，所述移动板上固定有掩膜版固定板，所述X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸分别固定在底座上且位于移动板相邻的两侧面，X轴顶杆气缸、第一Y轴顶杆气缸的工作端靠近移动板设置并且作用方向相互垂直，底座上位于移动板的另外两个侧面分别固定有X轴对位马达和第一Y轴对位马达，且X轴对位马达与X轴顶杆气缸作用方向相反，第一Y轴对位马达与第一Y轴顶杆气缸作用方向相反，晶圆掩膜版安装简单，对安装要求不高，操作简单，且可以调节其位置。
基本信息
专利标题 ：
晶圆掩膜版自动中心系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120842563.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-04-23
授权号 ：
CN216634030U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
石利
申请人 ：
无锡旭电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市建筑西路777(A10)-20层
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
夏楠
优先权 ：
CN202120842563.0
主分类号 ：
B25B11/00
IPC分类号 ：
B25B11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
