本实用新型提供了一种半导体器件热阻测试固定装置。所述固定装置包括固定单元、滑动单元和连接单元，其中，固定单元包括底板，底板固定在热阻测试设备冷板上，底板开设有一个贯通孔和至少3个滑槽，其中，贯通孔的轴线垂直于热阻测试设备冷板，滑槽开在底板背离冷板的一面并与贯通孔相连通；滑动单元包括至少三个滑块，滑块与滑槽的数量相同并一一对应，每个滑块都能在对应滑槽中滑动；连接单元包括至少三个连接件，连接件与滑块的数量相同并一一对应，每个连接件都能够将对应的滑块固定在滑槽中。本实用新型能够精准地将器件固定在同一位置；避免人为放置位置偏差导致的测试结果不准确；能够更好地验证同一产品多次测试的重复性。