一种大产能刻蚀设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种大产能刻蚀设备，包括产品上料、反应装置、产品下料和花篮，反应装置内上下方向分别设置有上反应槽和下反应槽，上反应槽和下反应槽上分别设置有上传动滚轮和下传动滚轮，反应装置内位于下反应槽下方设置有储液箱，反应装置左右侧面设置有反应液管道，反应液管道下端接在储液箱内，反应液管道上部分别与上反应槽和下反应槽连通，产品上料和产品下料上分别设置有前传输皮带和后传输皮带，前传输皮带的后端通过前活动中枢与两个前活动输送板前端连接，后传输皮带前端通过后活动中枢与两个后活动输送板后端连接。本实用新型的一种大产能刻蚀设备，能够在不改变设备占地面积前提下，提升产能产出，避免造成产能堆积。
基本信息
专利标题 ：
一种大产能刻蚀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122231291.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-15
授权号 ：
CN216413099U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
秦磊杨均炎张忠卫
申请人 ：
南通苏民新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市通州湾扶海路99号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
严志平
优先权 ：
CN202122231291.3
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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