一种半导体生产用晶棒性能连续测试架
授权
摘要
本实用新型涉及晶棒检测装置技术领域,具体为一种半导体生产用晶棒性能连续测试架,包括安装箱,所述安装箱的顶部固定连接有固定筒,所述固定筒的内部设置有调节机构,所述固定筒的顶部固定连接有进料筒,所述固定筒的一侧设置有检测探头;所述调节机构包括第一电机、转动盘和放置槽,所述固定筒的一侧固定连接有第一电机。本实用新型的优点在于:通过设置调节机构和进料筒,达到了可以既可以便于晶棒检测块自动上料,同时又可以进行连续检测作业的目的,从而有效的增加晶棒检测块的检测效率,通过设置第一检测头和第二检测头,达到了既可以对两个晶棒检测块的不同方位进行检测,从而增加增加晶棒检测块的检测效果,有效增加检测效率。
基本信息
专利标题 :
一种半导体生产用晶棒性能连续测试架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122334028.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-26
授权号 :
CN216539648U
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
康于国
申请人 :
安徽德徽创芯科技有限公司
申请人地址 :
安徽省蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区中小企业产业园
代理机构 :
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王家培
优先权 :
CN202122334028.7
主分类号 :
B07C5/34
IPC分类号 :
B07C5/34 B07C5/02 B07C5/36
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B07
将固体从固体中分离;分选
B07C
邮件分拣;单件物品的分选,或适于一件一件地分选的散装材料的分选,如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选,例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制;用手动装置,例如开关,来分选
B07C5/34
根据其他特殊性质来分选
法律状态
2022-05-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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