一种新型单晶炉用导气筒
授权
摘要
本实用新型提供一种新型单晶炉用导气筒,包括同轴设置的两个筒体,内侧所述筒体设有流通通道;在两个所述筒体之间至少设有两层隔离层;且在每个所述隔离层中设有不同高度段的不同保温件,以使流经所述通道的气流温度沿所述通道的流通方向呈阶梯下降。本实用新型导气筒,通过优化其结构,可提高导气筒的保温效果,缩小其温差变化幅度,使排气通道保持畅通,提高通气效果,解决了氧化物聚集的技术问题,可有效提高成晶率,保证单晶硅晶体的品质。这一结构的导气筒不易变形,保温效果好,不会出现骤冷骤热的现象,不仅能保证排气通道的形状不变,而且还可延长其使用寿命,降低炉台运行成本。
基本信息
专利标题 :
一种新型单晶炉用导气筒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122379288.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-29
授权号 :
CN216192866U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
韩凯郭谦张文霞王林高润飞
申请人 :
内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202122379288.6
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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