一种掩膜板甩干装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种掩膜板甩干装置，包括旋转机构，所述旋转机构包括驱动电机、旋转轴以及安装架；所述安装架安装于所述旋转轴上，具有多个围绕所述旋转轴并用于安装工件的安装位；所述驱动电机可通过其输出轴驱动所述安装架围绕着所述旋转轴的轴心方向旋转。本实用新型的掩膜板甩干装置，装置结构简单，运行稳定可靠，甩干效率高；通过驱动电机来驱动安装架围绕着旋转轴的轴心方向旋转，利用安装架旋转时产生离心力，通过离心力使掩膜板和晶片表面粘附残留的液体往外甩干。
基本信息
专利标题 ：
一种掩膜板甩干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122506265.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-18
授权号 ：
CN216210469U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
蒋振声陈兴国黄涛蔡家坤麦文泰
申请人 ：
深圳市深汕特别合作区应达利电子科技有限公司;应达利电子股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市深汕特别合作区鹅埠镇创新大道南侧、边溪河东侧
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
钟连发
优先权 ：
CN202122506265.7
主分类号 ：
G03F1/82
IPC分类号 ：
G03F1/82
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/68
未包含在G03F1/20至G03F1/50组中的制备工艺
G03F1/82
辅助工艺，例如清洗
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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