一种半导体扩散炉用花篮翻转支架
授权
摘要
本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮翻转支架，用于第一晶圆的生产；包括翻转架1，固定在翻转架1上的第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3，分别固定在第一花篮固定组件2和第二花篮固定组件3上的第一花篮5和第二花篮6，以及固定在翻转架1后侧用于固定第一花篮5和第二花篮6的后固定架4；所述第一花篮5为6寸花篮，所述第二花篮6为8寸花篮；本实用新型的有益效果：本机械支架本体采用PTFE制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，固定支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体扩散炉用花篮翻转支架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122879421.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
CN216694483U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
程宪良
申请人 ：
无锡诺莱德智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区硕放街道经发九路1号
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
张秀芳
优先权 ：
CN202122879421.4
主分类号 ：
F27D3/12
IPC分类号 ：
F27D3/12 F27D21/00 C30B31/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D3/00
装料；卸料；炉料控制
F27D3/12
行进式或可移式炉料支架或容器
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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