一种气相沉积炉的粉尘处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种气相沉积炉的粉尘处理装置，包括沉积炉本体，其特征在于，所述沉积炉本体上紧密连接有连通管，所述连通管的另一端与收集箱本体紧密连接，所述收集箱本体的一侧还固定安装有承接板，所述承接板上安装有风机，所述风机上的吸风管的一端连通在收集箱本体上，所述收集箱本体内还设有一隔板，所述隔板上开设有多个通气孔，所述隔板与收集箱本体之间形成一缓冲空间，所述收集箱本体的底部还设有一倾斜板，所述倾斜板的一端设有出尘口，所述出尘口上配备有出尘口盖，所述收集箱本体的底部还安装有支脚。本实用新型解决了现有技术采用化学反应生成薄膜的过程中粉尘不易收集的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种气相沉积炉的粉尘处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122884855.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-24
授权号 ：
CN216337940U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
刘昊亮郭勇张振清陈浩纯
申请人 ：
江西昊军智能装备有限公司
申请人地址 ：
江西省景德镇市珠山区陶玉南路山水瑞园B9栋
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
庄吴敏
优先权 ：
CN202122884855.3
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 B01D46/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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