一种半导体生产用切片装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体生产用切片装置,包括第一缸体,第一缸体的活塞杆上固定有对位块,对位块上滑动套设有对位座,对位座上固定有衔接板,衔接板上固定有电机,电机的转轴上固定有安装板,安装板上固定有圆盘,圆盘上固定有第二缸体,第二缸体上设置有夹块,相邻夹块之间夹持有晶棒。本实用新型通过夹块可对晶棒进行稳定固定,配合电机的转动可实现转动调整,第一缸体的活塞杆伸缩,可实现高度调整,通过卡销以及定位销的快捷拆卸方式,使得两个连接部位,可根据不同规格晶棒加工进行更换。
基本信息
专利标题 :
一种半导体生产用切片装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123100058.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-10
授权号 :
CN216732487U
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
方玉龙
申请人 :
昆山超瀚电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市周市镇陆杨杜家路316号
代理机构 :
东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张晓华
优先权 :
CN202123100058.8
主分类号 :
B28D7/04
IPC分类号 :
B28D7/04 B28D7/00 B28D5/04
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
B28D7/04
用于支承或夹持工件的
法律状态
2022-06-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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