机械手臂的位置调整装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种机械手臂的位置调整装置，所述机械手臂的位置调整装置包括：第一承载治具，设置于一机械手臂上，所述第一承载治具上设置有第一传感器发射端和第二传感器发射端；第二承载治具，设置于一目标基座上，所述第二承载治具上设置有第一传感器接收端和第二传感器接收端，所述第一传感器接收端用于接收所述第一传感器发射端发出的信号，以确定所述第一承载治具与所述第二承载治具平行且对准，所述第二传感器接收端用于接收所述第二传感器发射端发出的信号，以测量所述第一承载治具与所述第二承载治具之间的距离。本实用新型的技术方案能够快速且准确的调整机械手臂的位置。
基本信息
专利标题 ：
机械手臂的位置调整装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123178000.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN216528836U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
王力龙俊舟金锟
申请人 ：
武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
田婷
优先权 ：
CN202123178000.5
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67 B25J19/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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