一种蒸镀装置的喷嘴机构、及包括其的蒸镀装置
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摘要
本实用新型公开了一种蒸镀装置的喷嘴机构、及包括其的蒸镀装置，喷嘴机构设置在蒸镀装置内部的蒸发器上，且与蒸发器相互连通，其包括：主体，所述主体与蒸发器固定连接，所述主体呈圆筒状；基座，所述基座与主体固定连接，且相互连通，所述基座呈梯形，且其基座的侧板从上往下逐渐减小；至少四组伸缩杆，多组所述伸缩杆呈环状排列在基座内壁上，可根据不同情况下调整伸缩杆的根数，所述伸缩杆为液压伸缩杆或气缸伸缩杆中的任一种；橡胶圈，所述橡胶圈设置在伸缩杆的输出端；橡胶层，所述橡胶层设置在伸缩杆的上方和下方，且橡胶层可伸缩折叠；所述橡胶圈和橡胶层采用氟橡胶和硅橡胶中的任一种，氟橡胶和硅橡胶具有较高的耐高温性。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸镀装置的喷嘴机构、及包括其的蒸镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123203052.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216427393U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
王天兵贾斌李学法张国平
申请人 ：
江阴纳力新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市申港街道亚包大道55号4-3
代理机构 ：
苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
莫英妍
优先权 ：
CN202123203052.3
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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