一种蒸镀用模块化金属掩模板
授权
摘要
本实用新型提供了一种蒸镀用模块化金属掩模板，包括框架和多个掩模板本体，所述框架上设置有用于与多个所述掩模板本体相适配的开口，所述开口的内侧壁上设置有第一台阶，多个所述掩模板上分别设置有与所述第一台阶配合的第二台阶。本实用新型通过设置框架，并设置多个掩模板本体，框架能够对掩模板本体进行限位固定，保证蒸镀工序的正常进行，并且能够在一次蒸镀的过程中进行多个掩模板本体的蒸镀工序，有效提高了蒸镀的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸镀用模块化金属掩模板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123364178.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
CN216585168U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
潘旭张辉叶加久汪子涵
申请人 ：
中国科学院合肥物质科学研究院
申请人地址 ：
安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
代理机构 ：
合肥兴东知识产权代理有限公司
代理人 ：
曾萍
优先权 ：
CN202123364178.9
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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