一种晶元拾放装置
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种晶元拾放装置,涉及半导体装片机技术领域技术领域,晶元拾放装置包括晶元拾取机构、晶元拾取传递机构、晶元固晶取放机构以及光学微调机构,晶元固晶取放机构包括旋转组件和若干个拾取头,拾取头设于旋转组件的周向,且与旋转组件驱动连接,晶元拾取传递机构设于晶元拾取机构和拾取头之间;晶元在拾取头取放或者转运时利用光学微调机构对其位置进行校准。本发明既通过旋转组件实现了高速度旋转,又在转运过程中进行了光学校正,以及晶元放置前的光学微调,从而保证晶元拾放的过程中高速运动的同时实现了高精度,克服了现有技术中的半导体装片机设备中精度与速度只能取其一的不足之处,兼顾了高速度与高精度。

基本信息
专利标题 :
一种晶元拾放装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114373708A
申请号 :
CN202210040434.9
公开(公告)日 :
2022-04-19
申请日 :
2022-01-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
袁文武
申请人 :
袁文武
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区海悦花园七区2幢306室
代理机构 :
北京细软智谷知识产权代理有限责任公司
代理人 :
白晓菲
优先权 :
CN202210040434.9
主分类号 :
H01L21/68
IPC分类号 :
H01L21/68  H01L21/687  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-05-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20220114
2022-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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