本发明公开了一种晶圆研磨机，其技术方案要点是：包括机架，所述机架内转动连接有承载盘，所述承载盘上设置有若干个用于晶圆研磨的晶圆研磨工位，所述机架的一侧设置有伺服驱动模组，所述伺服驱动模组的输出端连接有吸盘组件，所述伺服驱动模组带动所述吸盘组件进行水平调位及摆动，所述机架内设置有驱动所述承载盘转动的动力组件，所述机架的顶部固定有横梁，所述横梁的底部设置有用于对所述晶圆研磨工位上的晶圆进行研磨的研磨组件，所述横梁处设置有调整所述研磨组件位置的位置调整组件，所述机架的外部设置有防护组件。本晶圆研磨机采用多个晶圆研磨工位进行操作能够提高生产效率。