本申请提供一种组合测量仪、校准装置及蒸镀系统，涉及蒸镀技术领域，用于解决现有的校准装置校准效率低的技术问题，该组合测量仪包括水平杆、探针和固定杆；固定杆沿垂向布置，固定杆的一端插装在蒸镀腔室的底壁中心孔内，固定杆的另一端与水平杆连接，水平杆能够水平转动；探针的一端连接在水平杆上，探针相对水平杆在水平方向及垂向上位置可调，固定杆与探针之间的水平距离设定为蒸镀时蒸发源盖子的中心与中心孔之间的预设水平距离；探针的底端用于与蒸发源盖子的顶面接触，探针的底端相对蒸镀腔室的底壁高度设定为符合蒸镀时蒸发源盖子与待蒸镀基板之间的预设高度所对应的高度。本申请提供的组合测量仪用于对蒸发源盖子进行快速校准。