背照式CMOS传感器中取晶粒的方法和应用
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种背照式CMOS传感器中取晶粒的方法和应用,涉及CMOS传感器技术领域。该方法先将背照式CMOS传感器进行混酸处理,再将得到的预处理晶粒靠近电路层的一侧平整固定在硅片上,对预处理晶粒远离电路层的一侧进行任选的一次研磨以除去可能残留的封装料,然后进行反应离子刻蚀和二次研磨以使电路层完整的暴露出来并保持一定的平整度,得到晶粒;其中,将预处理晶粒平整固定在硅片上,硅片的设置可为电路层提供支撑作用,使得在后续提取过程中不会出现电路层脱落或者分层等问题,从而实现晶粒的完整且完好的提取,为后续失效分析工作提供了基础。本发明还提供了背照式CMOS传感器的失效分析方法。

基本信息
专利标题 :
背照式CMOS传感器中取晶粒的方法和应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114486439A
申请号 :
CN202210099442.0
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴嘉杰季春葵郑朝晖
申请人 :
上海季丰电子股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区祖冲之路1505弄55号
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
刘建荣
优先权 :
CN202210099442.0
主分类号 :
G01N1/28
IPC分类号 :
G01N1/28  G01N1/32  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样;制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 1/28
申请日 : 20220127
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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