一种基于高纯球形硅溶胶的环保型化学机械抛光液及其制备方法...
公开
摘要
本发明属于化学机械抛光液技术领域，具体涉及一种基于高纯球形硅溶胶的环保型化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法。粗抛抛光液包括以下重量百分比的各组分：高纯球形硅溶胶0.5‑25％，表面活性剂0.15‑0.5％，氧化剂2‑5％，pH调节剂10‑20％，螯合剂2‑5％，余量为水。精抛抛光液包括以下重量百分比的各组分：高纯球形硅溶胶0.5‑30％，表面活性剂0.25‑0.70％，氧化剂2‑5％，pH调节剂10‑18％，螯合剂2‑5％，余量为水。本发明所提供的抛光液高纯、稳定，经测试后表面光泽度高、去除率高、平坦均匀，几乎无划痕，无污染物，抛光效果优异。
基本信息
专利标题 ：
一种基于高纯球形硅溶胶的环保型化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114591684A
申请号 ：
CN202210151960.2
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-02-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
魏涛郑小宁杭建忠王媛郑瑞兵施利毅孙小英郭玉婷
申请人 ：
浙江开化元通硅业有限公司;上海大学
申请人地址 ：
浙江省衢州市开化县工业园区园一路15号
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈熙
优先权 ：
CN202210151960.2
主分类号 ：
C09G1/02
IPC分类号 ：
C09G1/02 C09K3/14 H01L21/306
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09G
抛光组合物；滑雪屐蜡
C09G1/00
抛光组合物
C09G1/02
含有磨料或研磨剂
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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