一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备及镀膜方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备,包括真空容器,真空容器内设有收放卷室和镀膜室,收放卷室设隔膜阀,收放卷室内各设放卷系统和收卷系统,放卷系统输出基材进入镀膜室中,基材镀膜后复卷至收卷系统上。一种镀膜方法,包括:放卷系统输出基材缠绕镀膜辊一、磁控靶一对镀膜辊一上的基材的第一面进行镀膜;基材通过走膜通道缠绕在镀膜辊二、磁控靶二对镀膜辊二上的基材的第二面进行镀膜,基材镀膜后收卷在收卷系统上;在放卷和收卷更换卷材时,隔膜阀一和隔膜阀二关闭,保持镀膜室一和镀膜室二的真空度。本发明在收放卷材时,关闭隔膜阀,保持镀膜室的真空度不变,镀膜室和收放卷室相互独立,加快抽真空时间,提高生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备及镀膜方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114525491A
申请号 :
CN202210185652.1
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
朱刚毅朱刚劲
申请人 :
广东腾胜科技创新有限公司
申请人地址 :
广东省肇庆市端州区端州一路南宾日大楼侧第一卡厂房之二
代理机构 :
东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨英华
优先权 :
CN202210185652.1
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56  C23C14/35  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/56
申请日 : 20220228
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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