一种半导体PVD设备Clamp ring抛光打磨机
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种半导体PVD设备Clamp ring抛光打磨机，包括夹紧块，支撑板、气缸和旋转机构，所述的气缸设置在旋转机构上，气缸顶端设有支撑板，所述支撑板为圆形，其工作面等距设有凹槽，凹槽将支撑板的圆形工作面分隔成三个相等的扇形，凹槽内设有夹紧长条，该装置可以有效的夹紧部件，保证了打磨的过程中部件始终处于旋转台的正中心，而且不会被打磨的摩擦力带飞，这样既保证了整体打磨的均匀性、提高打磨质量和部件的安全性。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体PVD设备Clamp ring抛光打磨机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114367908A
申请号 ：
CN202210186981.8
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周毅贺贤汉阮安俊
申请人 ：
安徽富乐德科技发展股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省铜陵市金桥经济开发区
代理机构 ：
铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
李坤
优先权 ：
CN202210186981.8
主分类号 ：
B24B27/00
IPC分类号 ：
B24B27/00 B24B29/02 B24B41/06 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B27/00
其他磨床或装置
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 27/00
申请日 : 20220228
申请日 : 20220228
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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