刻蚀终点检测方法及装置
公开
摘要
本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：通过电源调制信号对刻蚀电源信号进行调幅得到刻蚀调幅信号；获取光谱仪采集的基于等离子体刻蚀样品生成的光谱信号；其中，等离子体由刻蚀工艺系统基于刻蚀调幅信号加载生成；通过电源调制信号对光谱信号进行混频滤波处理；根据经过混频滤波处理的光谱信号检测刻蚀终点。本发明可以有效检测出不同膜层结构中所含有的元素成分，从而实现高精度的脉冲刻蚀终点检测及控制。
基本信息
专利标题 ：
刻蚀终点检测方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582699A
申请号 ：
CN202210203194.X
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
常晓阳王新河林晓阳赵巍胜
申请人 ：
北京航空航天大学
申请人地址 ：
北京市海淀区学院路37号
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
叶明川
优先权 ：
CN202210203194.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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