一种自动标记坏点的芯片测试装置及测试方法
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摘要

本发明属于芯片检测技术领域,尤其是一种自动标记坏点的芯片测试装置及测试方法,针对现有技术存在的问题,现提出以下方案,包括外箱体,所述外箱体的顶部外壁中间位置开有圆孔,且圆孔的侧面内壁固定连接有内壳体,内壳体的侧面外壁设置有固定连接于外箱体顶部内壁的外壳体,所述内壳体的底部设置有固定连接于外箱体侧面内壁的支撑板,且支撑板的底部外壁固定连接有延伸至内壳体内部的探头,外箱体的底部内壁固定连接有超声波扫描显微镜。本发明通过探头对芯片进行扫描并与完好的芯片扫描图进行对比后得到芯片上坏点的位置,再通过标记机构在坏点的位置上标记墨点,进而使得后续检修人员能快速定位到芯片上的坏点,方便了芯片后续的检修。

基本信息
专利标题 :
一种自动标记坏点的芯片测试装置及测试方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114295730A
申请号 :
CN202210218376.4
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2022-03-08
授权号 :
CN114295730B
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
黄海林黄静郑卫华何慧颖王理想
申请人 :
神州龙芯智能科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市崇川区江海财富大厦B座17层
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210218376.4
主分类号 :
G01N29/06
IPC分类号 :
G01N29/06  G01N29/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N29/00
利用超声波、声波或次声波来测试或分析材料;靠发射超声波或声波通过物体得到物体内部的显像
G01N29/04
固体分析
G01N29/06
内部的显像,例如,声显微技术
法律状态
2022-05-27 :
授权
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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