一种ZnO掺杂SnO2靶材及其制备...
公开
摘要
本发明属于溅射靶材制备技术领域，公开了一种ZnO掺杂SnO2靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：将95％～99.9％SnO2和0.1％～5％ZnO粉体通过球磨混合，所得混合原料装入石墨模具，并在石墨模具内放入石墨纸，使物料与石墨纸接触，然后放置于热压炉中，先抽真空至＜100Pa，然后在15～30MPa下进行预压；预压结束后，在真空度≤5Pa条件下升温至950～1100℃，在40～60MPa条件下进行热压，然后冷却脱模，得到所述ZnO掺杂SnO2靶材。采用本发明方法制备得到的ZnO掺杂SnO2靶材具有导电性好、相对密度高和成本低的优势。
基本信息
专利标题 ：
一种ZnO掺杂SnO2靶材及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114560692A
申请号 ：
CN202210225036.4
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
文崇斌余芳朱刘童培云罗海奇曾成亮
申请人 ：
先导薄膜材料（广东）有限公司
申请人地址 ：
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 ：
清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
龚元元
优先权 ：
CN202210225036.4
主分类号 ：
C04B35/457
IPC分类号 ：
C04B35/457 C04B35/622 C04B35/645 C23C14/08 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C04
水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料
C04B
石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷；耐火材料；天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/01
以氧化物为基料的
C04B35/453
以氧化锌、氧化锡或氧化铋或与其他氧化物的固溶体为基料的
C04B35/457
以氧化锡或锡酸盐为基料的
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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