本发明公开了一种晶圆片干燥装置，包括机架，以及设置在机架上用于夹持晶圆片的夹持架和用于干燥晶圆片的干燥组件，夹持架与机架可拆连接；夹持架包括伸缩框架和多个用于套固晶圆片的晶圆套，各晶圆套与伸缩框架转动连接，各晶圆套的旋转轴线与伸缩框架的伸缩方向垂直，多个晶圆套沿伸缩框架伸长方向均匀设置，伸缩框架运动时带动晶圆套运动；伸缩框架展开完成时，晶圆套旋转轴线之间的距离大于晶圆套的外径。本装置将多个晶圆片集成收纳，并一同进行干燥，减少了工作人员的等待和现场放置晶圆片带来的辅助时间，可有效提高劳动效率。