本发明揭示了晶圆与工作台对准识别方法，包括如下步骤：S1，将晶圆置于工作台上；S2，通过定心机械手使所述晶圆向与工作台共轴的位置调整；S3，采用第一对准识别法确定晶圆与工作台是否对准，当确定工作台与晶圆未对准时，采用视觉寻边法在每个基准孔处分别获取一计算坐标，在获取一组符合要求的计算坐标后根据一组计算坐标计算晶圆的圆心坐标。本方案先采用第一对准识别法，能够快速确定晶圆与工作台是否对准，保证加工效率，在快速识别确认对准失败后，转至视觉寻边法寻找一组计算坐标，可以有效地确定晶圆的圆心坐标，为后续调整切割参数提供了数据支持，有利于保证切割质量。