将光掩膜敷到印刷线路板上的装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种用于将光掩膜敷在基片上的装置，用辊子把光掩膜敷在基片上，用真空限制装置在把光掩膜敷在基片上的过程中限制光掩膜，使其保持张力。
基本信息
专利标题 ：
将光掩膜敷到印刷线路板上的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN86107270A
申请号 ：
CN86107270.7
公开（公告）日 ：
1987-07-15
申请日 ：
1986-10-22
授权号 ：
CN1003677B
授权日 ：
1989-03-22
发明人 ：
约翰·V·克罗宁
申请人 ：
M和T化学股份有限公司
申请人地址 ：
美国新泽西州07095
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
辛哲生
优先权 ：
CN86107270.7
主分类号 ：
G03F9/00
IPC分类号 ：
G03F9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F9/00
原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地
法律状态
1994-12-07 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1989-12-13 ：
授权
1989-03-22 ：
审定
1987-05-20 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
