正向作用的光刻胶
专利申请的视为撤回
摘要
一种正性作用的能产生交联影像的光刻胶组合物及其应用。它以膜的形式施加于基底表面，并通过一光掩膜进行选择性影像曝光。光化辐射促使光生碱产生剂，在光刻胶膜的影像曝光部分中产生一种碱。光化学产生的碱中和了影像曝光区域中的酸。未曝光部分不含光化学产生的碱，加热该膜后被酸的催化作用交联，其曝交部分通过显影剂溶液作用被从基底上除去，将交联的正性影像留在基底上。它还可以通过电沉积的方法施加到导电性基底的表面上。
基本信息
专利标题 ：
正向作用的光刻胶
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1054838A
申请号 ：
CN90109643.1
公开（公告）日 ：
1991-09-25
申请日 ：
1990-10-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马克·若比特·崴克勒
申请人 ：
罗姆和哈斯公司
申请人地址 ：
美国宾夕法尼亚州
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
任宗华
优先权 ：
CN90109643.1
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
1998-01-14 ：
专利申请的视为撤回
1993-02-03 ：
实质审查请求的生效
1991-09-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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