薄膜晶体管基板及其制造方法。该薄膜晶体管在LCD板上包括选通线和数据线，它们形成像素区并由栅绝缘层分开。在像素区中的薄膜晶体管具有形成沟道的半导体图案。像素区中的像素电极包括透明导电膜。栅金属膜与在像素区中的一部分透明导电膜相邻。通过使沟道中的半导体暴露于氧或氮等离子体而形成半导体钝化膜。与所述选通线相连的选通焊盘包括在焊盘部分中的透明膜、以及在连接选通焊盘和选通线的连接区域中的透明膜和栅膜。与数据线相连的数据焊盘包括所述透明膜。