一种将硅片的中心放置在静电卡盘中心的方法

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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摘要

本发明涉及通过在真空传输腔室与刻蚀反应腔室的连接处安装两个普通光电开关传感器，准确计算出硅片在机械手的偏离位置和机械手上硅片的有无，指导机械手自动调整偏差放片，保证硅片中心定位在反应式静电卡盘中心位置的方法。

基本信息

专利标题：

一种将硅片的中心放置在静电卡盘中心的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1848401A

申请号：

CN200510126439.X

公开（公告）日：

2006-10-18

申请日：

2005-12-09

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

李永军

申请人：

北京圆合电子技术有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

向华

优先权：

CN200510126439.X

主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/68 H01L21/677 H01L21/67

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/68

用于定位、定向或对准的

法律状态

2018-08-17 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/68
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

2011-04-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101081115651
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL200510126439X
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京圆合电子技术有限责任公司
变更后权利人 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后权利人 : 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
登记生效日 : 20110311

2008-09-03 ：

授权

2006-12-13 ：

实质审查的生效

2006-10-18 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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