一种用于可转动靶材溅射设备的端块
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种用于在真空涂敷装置中的电激励可转动管状靶材的端块，所述端块具有一个可转动的电接触件，其在以交流电模式下操作时降低焦耳生热效应。当与已知的端块比较时，本发明可获得增加接触环(410)和一系列周向安装的接触极靴(450)之间的接触面积。另外，接触极靴通过弹性件沿径向向外地压靠接触环。
基本信息
专利标题 ：
一种用于可转动靶材溅射设备的端块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101044586A
申请号 ：
CN200580035587.9
公开（公告）日 ：
2007-09-26
申请日 ：
2005-10-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
K·德拉尔特W·德博斯谢尔J·德博埃韦尔S·波特曼
申请人 ：
贝卡尔特先进涂层公司
申请人地址 ：
比利时丹泽
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
蒋旭荣
优先权 ：
CN200580035587.9
主分类号 ：
H01J37/34
IPC分类号 ：
H01J37/34
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
H01J37/34
用阴极溅射工作的
法律状态
2015-11-25 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101635081321
IPC(主分类) : H01J 37/34
专利号 : ZL2005800355879
申请日 : 20051011
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20141011
号牌文件序号 : 101635081321
IPC(主分类) : H01J 37/34
专利号 : ZL2005800355879
申请日 : 20051011
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20141011
2012-11-07 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101459005465
IPC(主分类) : H01J 37/34
专利号 : ZL2005800355879
变更事项 : 专利权人
变更前 : 贝卡尔特先进涂层公司
变更后 : 梭莱先进镀膜股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 比利时丹泽
变更后 : 比利时丹泽
号牌文件序号 : 101459005465
IPC(主分类) : H01J 37/34
专利号 : ZL2005800355879
变更事项 : 专利权人
变更前 : 贝卡尔特先进涂层公司
变更后 : 梭莱先进镀膜股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 比利时丹泽
变更后 : 比利时丹泽
2011-02-09 ：
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101066879415
IPC(主分类) : H01J 37/34
专利申请号 : 2005800355879
专利号 : ZL2005800355879
合同备案号 : 2010990000989
让与人 : 贝卡尔特先进涂层公司
受让人 : 贝卡尔特(江阴)镀膜工业有限公司
发明名称 : 一种用于可转动靶材溅射设备的端块
申请日 : 20051011
公开日 : 20070926
授权公告日 : 20100616
许可种类 : 普通许可
备案日期 : 20101217
号牌文件序号 : 101066879415
IPC(主分类) : H01J 37/34
专利申请号 : 2005800355879
专利号 : ZL2005800355879
合同备案号 : 2010990000989
让与人 : 贝卡尔特先进涂层公司
受让人 : 贝卡尔特(江阴)镀膜工业有限公司
发明名称 : 一种用于可转动靶材溅射设备的端块
申请日 : 20051011
公开日 : 20070926
授权公告日 : 20100616
许可种类 : 普通许可
备案日期 : 20101217
2010-06-16 ：
授权
2007-11-21 ：
实质审查的生效
2007-09-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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