一种靶材溅射深度测试装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种靶材溅射深度测试装置，所述的靶材溅射深度测试装置包括测试装置主体以及用于将测试装置主体固定在待测靶材上的固定件；所述的测试装置主体包括可拆卸连接的深度测量组件和水平定位件；所述的深度测量组件包括纵向并排布置的至少一个测量件，各测量件相互独立地在竖直方向上自由移动，所述测量件用于测量靶材表面某点的深度值；所述的水平定位件用于确定各测量件对应的靶材径向位置，各点的深度值与其对应的靶材径向位置配合得到拟合的待测靶材径向深度轮廓曲线。本实用新型提供的靶材溅射深度测试装置在测量过程中具有较高的测试稳定性，操作简单，携带方便，可以随时随地进行测试。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材溅射深度测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921063612.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-09
授权号 ：
CN210321557U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
姚力军潘杰王学泽呼雷
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
张海英
优先权 ：
CN201921063612.X
主分类号 ：
G01B5/18
IPC分类号 ：
G01B5/18 G01B5/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/18
用于计量深度
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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