基板处理装置检查方法及存储有实施其用程序的记录介质
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摘要
本发明提供一种能减少操作员的工时的基板处理装置的检查方法。在基板处理装置的清扫时期，主计算机对基板处理装置指示禁止向该基板处理装置内输送制品用基板，基板处理装置将在规定的检查项目的检查中所使用的检查用基板的种类以及个数，通知给主计算机，主计算机将检查用基板的准备结束，通知给基板处理装置。
基本信息
专利标题 ：
基板处理装置检查方法及存储有实施其用程序的记录介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1811622A
申请号 ：
CN200610001489.X
公开（公告）日 ：
2006-08-02
申请日 ：
2006-01-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小尾章中村博
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN200610001489.X
主分类号 ：
G05B19/02
IPC分类号 ：
G05B19/02 G05B15/02 H01L21/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
法律状态
2009-04-01 ：
授权
2006-09-27 ：
实质审查的生效
2006-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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