电流可抹除可程式只读记忆体元件及其制造方法

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摘要

本发明是有关于一种电流可抹除可程式只读记忆体元件及其制造方法。该电流可抹除可程式只读记忆体的元件，至少包含一浮动闸极电极，该浮动闸极包含一外部边缘部分。其中，该外部边缘部分包含复数电荷转换点的尖锐尖端。该电流可抹除可程式只读记忆体的元件的形成方法，至少包括下列步骤：形成一浮动闸极电极，其中该浮动闸极电极包含一外部边缘部分，该外部边缘部分包含复数电荷转换点的尖锐尖端。本发明可以改善元件的功能、可靠度以及配合记忆体尺寸的缩小所需的制程空间，非常适于实用。

基本信息

专利标题：

电流可抹除可程式只读记忆体元件及其制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1905196A

申请号：

CN200610007677.3

公开（公告）日：

2007-01-31

申请日：

2006-02-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

刘源鸿傅士奇罗际兴蔡嘉雄

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路8号

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN200610007677.3

主分类号：

H01L27/115

IPC分类号：

H01L27/115 H01L29/788 H01L29/423 H01L21/8247 H01L21/336 H01L21/28